[发明专利]微机械振动滤波器有效
申请号: | 03800411.9 | 申请日: | 2003-01-31 |
公开(公告)号: | CN1516909A | 公开(公告)日: | 2004-07-28 |
发明(设计)人: | 中村邦彦;中西淑人 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20;H03H5/12;H03H7/12;H03H9/00;B06B1/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 杨凯;王忠忠 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种适应于高频波段的小型、高性能的机械振动式滤波器。通过选取使机械振子微小化的微圆柱梁5,使机械共振频率高频化,并将多个微圆柱梁5排列成阵列状,在各微圆柱梁5的周围以预定的间隙配置共用检测电极6来抑制输出信号下降。另外,通过限制一部分机械振子的振动,能够观测并消除从输入信号到输出信号的伴随直接电磁耦合的噪声成分。 | ||
搜索关键词: | 微机 振动 滤波器 | ||
【主权项】:
1.一种微机械振动滤波器,其中设有:阵列状配置在电磁波导上或其附近的电磁场中的梁状或线圈状的多个微机械振子,以及对于所述多个微机械振子受到与电磁场的相互作用而按照固有共振频率振动时的信号进行检测的检测电路。
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