[发明专利]树脂薄膜的制造方法和制造装置

摘要

储存在树脂材料槽内的液状树脂材料，通过使加压槽罐进行升压而经过一次侧供给管被压送到供给槽罐内。在供给槽罐内设置了根据供给槽罐内的树脂材料量而进行位移的活塞，利用活塞的行程来对树脂材料进行定量。被定量的树脂材料经过蒸发侧供给管被输送到加热构件上，被加热蒸发后附着到基板上。把树脂材料临时充填到供给槽罐内，以便对树脂材料进行定量，仅把被充填的树脂材料输送到加热构件上，所以，蒸发量是一定的，其结果，树脂薄膜的厚度稳定。

主权项

1、一种树脂薄膜的制造方法，其特征在于：所利用的树脂薄膜的制造装置具有：加热构件，用于对液状树脂材料进行加热使其蒸发；支架，用于把已蒸发的上述树脂材料液化后附着的基板，保持在规定的位置上；真空室，用于放置上述加热构件、上述基板和上述支架；一次槽罐部，它具有加压槽罐、以及设置在上述加压槽罐内的用于储存上述液状树脂材料的树脂材料槽；供给部，它具有：临时储存上述液状树脂材料的供给槽罐、以及活塞，该活塞设置在上述供给槽罐内，根据上述供给槽罐内的上述液状树脂材料的体积来进行位移；一次侧供给管，用于从上述树脂材料槽向上述供给槽罐内输送上述液状树脂材料；一次侧阀门，它设置在上述一次侧供给管上；蒸发侧供给管，用于从上述供给槽罐向上述加热构件上输送上述液状树脂材料；以及蒸发侧阀门，它设置在上述蒸发侧供给管上，利用上述树脂薄膜的制造装置来进行以下工序：在打开上述一次侧阀门，关闭上述蒸发侧阀门的状态下，使上述加压槽罐内升压，通过上述一次侧供给管把上述树脂材料槽内的上述液状树脂材料压送到上述供给槽罐内；关闭上述一次侧阀门，打开上述蒸发侧阀门，通过上述蒸发侧供给管把上述供给槽罐内的上述液状树脂材料输送到上述加热构件上。