[发明专利]电化学氧化

摘要

公开了用于半导体层的电化学氧化的方法。在用于作为电子器件之一的电子源10(场致发射类型电子源)的生产过程中的电化学氧化处理过程中，基于来自电阻检测部分35的检测电压，控制部分37预先测定由于电解溶液B的电阻导致的电压增量。然后，控制部分37控制电源以供应恒电流，以便引发对于在物体30上形成的半导体层的氧化处理。控制部分37通过从中减去电压增量来校正来自电压检测部分36的检测电压。当校正电压达到给定的上限电压值时，可以操作控制部分37来中断电源32的输出和终止氧化处理。本发明使得可以生产在其特性方面具有减小的变化的电子器件。

主权项

1.一种对半导体层进行电化学氧化的方法，其中将装备在所述半导体层的将被电化学氧化的主面的反面上的电极用作阳极，在所述阳极和阴极之间供应电流，同时允许所述半导体层和所述阴极与电解溶液接触，以氧化所述半导体层，所述方法包含：在所述阳极和所述阴极之间供应电流以引发所述氧化；和在校正电压值Vt与预定的上限电压值V1相等的条件下终止所述氧化，所述校正电压值Vt是通过按照基于预先检测的所述电解溶液电阻的电压增量V0来校正所述阳极和所述阴极之间的电压V而测定的。