[发明专利]银合金溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 03800885.8 | 申请日： | 2003-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN1545569A | 公开（公告）日： | 2004-11-10 |
| 发明（设计）人： | 松崎均;高木胜寿;中井淳一;中根靖夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社钢臂功科研 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C5/06;C22F1/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种银合金溅射靶及其制造方法，该银合金溅射靶，特别有利于由溅射法形成膜厚分布均匀的银合金薄膜，由X射线衍射法求出任意4个位置的结晶取向强度时，4个测定位置的表示最高结晶取向强度(Xa)的方位相同，且在各测定位置最高结晶取向强度(Xa)与第二高的结晶取向强度(Xb)的强度比(Xb/Xa)的偏差在20％以下的银合金溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 溅射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种银合金溅射靶，其特征在于：由X射线衍射法求出任意4个位置的结晶取向强度，在4个测定位置表示最高结晶取向强度(Xa)的方位相同，且各测定位置的最高结晶取向强度(Xa)与第二高的结晶取向强度(Xb)的强度比(Xb/Xa)的偏差在20％以下。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社钢臂功科研，未经株式会社钢臂功科研许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03800885.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：锂离子电池用四氧化三钴的制备方法
- 下一篇：展幅机
- 同类专利
- 专利分类
