[发明专利]用于混合信号RF应用和电路的集成电路结构无效

专利信息
申请号: 03800917.X 申请日: 2003-05-21
公开(公告)号: CN1547775A 公开(公告)日: 2004-11-17
发明(设计)人: 黄文伶;詹姆斯·基希格斯纳;戴维·J·蒙克 申请(专利权)人: 自由度半导体公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L21/8258;H01L23/66
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 王永刚
地址: 美国得*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种在单片IC上支持数字电路(4)、模拟电路(6)和RF电路(8)的集成电路(12)。数字CMOS电路位于低电阻率层(16)上,该低电阻率层提供良好的闩锁质量并允许密集的PAD I/O。模拟CMOS电路位于高阻层(14)上被隔离的阱区(20)上,以最小化经由衬底的信号串扰。模拟BJT器件也位于其自身的阱结构(20)内的高阻区(14)上,以最小化寄生电容并提供高频器件开关。RF无源元件,如电感器和电容位于高阻区(14)上,以最小化尤其在高频下发生的信号损失。RF有源部件位于高阻区上,以最大化器件性能。
搜索关键词: 用于 混合 信号 rf 应用 电路 集成电路 结构
【主权项】:
1.一种集成电路,包括:高阻衬底;在所述高阻衬底上形成的布图的低电阻率埋层;在所述布图的低电阻率埋层上形成的数字电路;在所述高阻衬底上形成的模拟电路;在所述高阻衬底上形成的无源RF器件;以及围绕所述数字电路的阱区。
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