[发明专利]微细电铸用模具及其制造方法

摘要

一种容易制造的具有简单结构的微细电铸模具。为了提高由金属薄膜构成的金属制品的产量，在电铸过程中用作阴极的电极部分可以以更高的密度布置，且形成在电极部分上的金属薄膜可容易地剥离。该模具具有持久力，且可多次使用。还公开了一种以更高的精度通过更简单的方式制造该微细电铸模具的制造方法。微细电铸模具(M)具有电铸时用作阴极的导电性基板(1)。在导电性基板(1)的表面上，具有抵达导电性基板(1)且其形状自上方观看时相应于金属制品(P)的形状的开口(21)的绝缘层(2)由无机绝缘材料形成，其厚度T₂不小于10nm且小于金属制品(P)的厚度T₁的1/2。将从开口(21)部分处露出的导电性基板(1)的表面用作电极部分。制造方法如下。在除构图形成有抗蚀剂膜(R)的区域之外的区域上，在导电性基板(1)的表面上，通过气相生长法形成单层或多层无机膜(2′)以生长为绝缘层(2)。之后，去除抗蚀剂膜(R)，在无机薄膜(2′)中形成开口(21)，该开口具有自上方看时与金属制品(P)的形状相应的形状并抵达导电性基板(1)。

主权项

1.一种用于微细电铸的模具，该模具用于通过电铸制造由金属薄膜构成且具有预定平面形状和预定厚度的微细金属制品，该模具的特征在于其包括：在电铸过程中用作阴极的导电性基板；形成在该导电性基板的表面上的绝缘层，该绝缘层由无机绝缘材料构成且具有不小于10nm和小于该金属制品厚度的一半的厚度；以及所述绝缘层具有其形状与该金属制品的平面形状相应且通达该导电性基板的表面的开口，用于通过使所述金属薄膜经由电铸选择性地生长在从该开口处露出的该导电性基板的表面上来制造该金属制品。