[发明专利]腐蚀方法及由该方法成形的腐蚀成形品无效
| 申请号： | 03801098.4 | 申请日： | 2003-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1557048A | 公开（公告）日： | 2004-12-22 |
| 发明（设计）人： | 佐藤俊介;幸田直树;福富俊辅;白井崇 | 申请（专利权）人： | 株式会社大真空 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种腐蚀方法，在对水晶基板(2)进行腐蚀加工从而成形在脚部(11、12)具有槽部(11c、12c)的音叉型水晶晶片(1A)时，利用根据腐蚀区域的形状决定腐蚀量的腐蚀停止技术预先设定槽部(11c、12c)的宽度尺寸，从而可提高槽部(11c、12c)的深度尺寸的加工精度。这样，如确保必要最短时间以上的腐蚀时间，则可获得按照设计尺寸的深度尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 腐蚀 方法 成形 | ||
【主权项】：
1.一种腐蚀方法，用于腐蚀设定于被成形物表面的预定的腐蚀区域；其特征在于：在相对上述腐蚀区域进行腐蚀处理时，预先设定上述腐蚀区域的形状，使在与该腐蚀区域的形状相应的腐蚀停止位置停止腐蚀的时刻的腐蚀量大体与预先设定的设计腐蚀量一致。
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