[发明专利]电子部件的特性测量装置有效
申请号: | 03801172.7 | 申请日: | 2003-03-11 |
公开(公告)号: | CN1564949A | 公开(公告)日: | 2005-01-12 |
发明(设计)人: | 笹冈嘉一 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R31/26;G01R27/00;H01G13/00;H01L21/66 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 李家麟 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种用于测量具有第一和第二外部电极位于第一和第二相对端处的片形电子部件的电特性的装置。保持具有第一和第二外部端子电极2和3指向接纳腔5的第一和第二开口端6和7的电子部件4的保持件14具有屏蔽层15,它在第一和第二测量端子9和10之间延伸,且所述屏蔽层15电连接到测量基准电位16。屏蔽层15降低了电子部件4附近寄生的杂散电容,并降低了电子部件4的尺寸变化导致的测量误差。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 特性 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种电子部件特性测量装置,用于测量在其第一和第二相对端处具有第一和第二外部端子电极的片形电子部件的电特性,其特征在于,所述装置包括:保持件,具有用于接纳电子部件的至少一个接纳腔,并保持电子部件使第一和第二外部端子电极指向接纳腔的第一和第二相对开口端;和第一和第二测量端子,置于接纳腔的第一和第二开口端处以便与电子部件的第一和第二外部端子电极接触,其中所述保持件具有由导电材料制成并在第一和第二测量端子之间延伸的屏蔽层,所述屏蔽层电连接到测量基准电位。
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