[发明专利]微型机械及其制造方法无效
| 申请号： | 03801273.1 | 申请日： | 2003-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN1568284A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 多田正裕;木下隆;谷口武士;池田浩一 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 葛青;李晓舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于具有高Q值和更高频带的高频过滤器的微型机械。该微型机械(20)包括：设置在衬底(1)上的输出电极(7)；包括第一绝缘薄膜(9)和第二绝缘薄膜(11)的夹层绝缘薄膜，所述第一和第二绝缘薄膜设置在衬底上以覆盖所述输出电极(7)；孔图案(11a)，设置在所述第二绝缘薄膜(11)中以到达所述输出电极(7)；以及带状振动器电极(15)，设置在所述第二绝缘薄膜(11)上，从而横过由所述孔图案(11a)内部构成的间隔部分(A)的上侧。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 机械 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微型机械，包括：设置在衬底上的输出电极；夹层绝缘薄膜，在覆盖所述输出电极的状态下设置在所述衬底上；孔图案，在到达所述输出电极的状态下设置在所述夹层绝缘薄膜中；以及带状振动器电极，设置在所述夹层绝缘薄膜上，从而横过由所述孔图案内部构成的间隔部分的上侧。
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