[发明专利]保持衬底用的装置

摘要

本发明涉及一种用于生产光电元件的容纳衬底(S)特别是晶片或硅衬底用的装置。本发明的装置包括两个互相对置的壁(1)，其中设置至少两个连接壁(1)的棒状承载元件(2，3)，而承载元件(2，3)设有制动机构(5)，用于保持沿平行于壁(1)取向的垂直位置的承载元件上支承的衬底(S)。本发明的目的是使衬底能够在处理浴槽中浮动而同时能最容易地装入和取出。为此，设置至少一个棒状对置承载元件，该元件连接两壁并以这样的方式相对于承载元件配置，使得能限制衬底(S)相对于壁(1)的垂直移动，并能够以相对于垂直方向的角度装入或取出这些衬底。

主权项

1.一种用于生产具有两个面对面的壁(1)的光电元件的保持衬底(S)特别是晶片或硅衬底用的装置，其中设置至少两个用于连接该壁(1)的棒状承载元件(2，3)，其中承载元件(2，3)设置有一个制动机构(5)，用于保持由此沿平行于壁(1)取向的垂直方位而被支承的衬底(S)；其特征在于：设置至少一个连接两壁(1)的棒状对置承载元件(4)，后者相对于承载元件(2，3)配置；由此限制了衬底(S)相对于壁(1)的垂直移动，并可以相对于垂直方向(V)倾斜地装入或取出衬底(S)。