[发明专利]电子部件对准方法及其所使用的装置无效
申请号: | 03801840.3 | 申请日: | 2003-09-30 |
公开(公告)号: | CN1610614A | 公开(公告)日: | 2005-04-27 |
发明(设计)人: | 中村厚志;川谷典夫;细井正久;獭庭和正;德永洋 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | B41J2/16 | 分类号: | B41J2/16;H01L21/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马高平;杨梧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 精确定位两个电子部件的方法,通过在标记识别装置的同一图中捕获用于定位这两个电子部件的标记工具来测量其位置,包括如下步骤:将第一电子部件保持在支撑工作台上,第一电子部件具有两个被设置在特定位置上、彼此隔开一特定距离的定位孔;将第二电子部件保持在位置调节装置上,第二电子部件具有两个形成在特定位置上、以便与两个定位孔之间的间隔相匹配的对准标记;在对准标记被插入第一电子部件的定位孔的状态下,在标记识别装置的同一图中捕获第二电子部件的对准标记;测量两对准标记的位置;以及利用位置调节装置调节第二电子部件的位置,使得第二电子部件的对准标记与第一电子部件的定位孔呈特定的位置关系。 | ||
搜索关键词: | 电子 部件 对准 方法 及其 使用 装置 | ||
【主权项】:
1、一种电子部件对准方法,包括以下步骤:用一容纳工作台保持一第一电子部件,所述第一电子部件在其预定位置处钻有两个对准孔以便使其彼此分隔一预定的间隔,并且用一位置调节装置保持一第二电子部件,所述第二电子部件在其预定位置处形成有两个对准标记使其间的一间隔与所述两对准孔之间的间隔一致;在将所述第二电子部件的所述对准标记插入所述第一电子部件相应的所述对准孔中这样一状态下,在一标记识别装置的同一视场内捕获所述对准标记和所述相应的对准孔,并测量所述两个部件的位置;以及用所述位置调节装置调节所述第二电子部件的位置,使得所述第二电子部件的对准标记处于所述第一电子部件的相应对准孔内预定位置处,其中通过执行以上步骤将所述两个部件彼此对准。
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