[发明专利]反射式空间光调节器有效
| 申请号： | 03801935.3 | 申请日： | 2003-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN1688913A | 公开（公告）日： | 2005-10-26 |
| 发明（设计）人： | 晓和·X·潘;陈东敏;杨晓;张首晟 | 申请（专利权）人： | 明锐有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微镜阵列，例如用于反射式空间光调节器。在一个实施例中，微镜阵列包括隔离支持壁、垂直扭转铰链和镜板，他们都由单一晶片制造。微镜阵列具有大的填充比。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 空间 调节器 | ||
【主权项】：
1.一种微镜，包括：镜板；隔离支持框架；铰链，连接到隔离支持框架和镜板，用于使得镜板相对于隔离支持框架围绕由铰链限定的轴旋转；以及其中镜板、隔离支持框架、和铰链的每一个都由连续单片材料制造。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于明锐有限公司，未经明锐有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03801935.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
