[发明专利]借助激光光斑放大来激光加工工件的方法

摘要

一种如PMN调节的反射镜这样的快速偏转反射镜(30)，其设置在基于工作台的定位系统(40)的光束路径(18)中，用于以高速预定的图形绕标称目标位置(60)移动激光光束(46)，以便从空间上分散开以高激光重复率产生的聚焦激光光斑(48)且借此形成具有大于聚焦激光光斑(48)尺寸的几何特征。一系列给定重复率的激光光斑(48)表现为一系列低脉冲频率的具有较大直径的激光光斑而没有与离焦相关的光束质量问题。

主权项

1.一种以激光输出脉冲在工件上用激光加工出有效切口宽度的方法，每个所述激光脉冲在所述工件上所具有的激光光斑直径均小于所述有效切口宽度，所述方法包括：从一主光束定位系统，以第一组限定的速度和加速度，将一激光光斑位置的主相对运动传递到所述工件上，该主光束定位系统设置从激光器到所述工件上的所述激光光斑位置的光束定位路径，所述主相对运动限定主加工路径；和从沿着所述光束定位路径定位的一辅助光束定位系统，以显著高于第一组速度和加速度的第二组速度和加速度，将所述激光光斑位置的辅助相对运动传递到所述工件上，该辅助相对运动是叠加到所述主相对运动上的，并且包括垂直于所述主加工路径、具有图形尺寸的图形，该图形尺寸小于或者等于15倍的所述激光光斑直径，所述的主相对运动和辅助相对运动配合而沿着所述主加工路径提供所述有效切口宽度，该有效切口宽度等于所述图形尺寸加所述光斑直径。