[发明专利]负性作用可光成像底部抗反射涂层有效
| 申请号： | 03802097.1 | 申请日： | 2003-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN1615460A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | J·E·奥伯兰德;R·R·达默尔;李丁术季;M·O·尼瑟尔;M·A·图卡伊 | 申请（专利权）人： | 科莱恩金融(BVI)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/095;G03F7/038 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘明海 |
| 地址： | 英属维尔京*** | 国省代码： | 维尔京群岛;VG |
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| 摘要： | 本发明涉及新型负性作用、可光成像且可水性显影的抗反射涂料组合物和它们的通过在反射衬底和光刻胶涂层之间形成此新型抗反射涂料组合物的薄层而用在图像处理中的用途。该负性、底部、可光成像的抗反射涂料组合物能够在碱性显影剂中显影且其涂覆在负性光刻胶的下方。 | ||
| 搜索关键词： | 作用 成像 底部 反射 涂层 | ||
【主权项】：
1.一种负性、底部、可光成像的抗反射涂料组合物，该组合物能够在碱性显影剂中显影且其涂覆在负性光刻胶的下方，其中此抗反射涂料组合物包含光酸产生剂、交联剂和碱溶性聚合物。
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