[发明专利]反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法

摘要

本申请公开了一种反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法。在通过反射引导曝光光线的曝光设备中，用在反射光学系统中的反射镜设备具有：一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜；用于散热冷却的散热板，被设置在离开所述反射镜的外表面的位置。所述散热板的设置确保入射到所述反射表面上并从该反射表面反射的所述曝光光线的通道区域。另外，用流过冷却管的冷却液体对各散热板进行温度控制。这样，可以抑制用在曝光设备的反射光学系统中的反射镜的温度上升，保持反射镜反射面的面形状的精度。

主权项

1.曝光设备中的反射镜设备，构成通过反射引导曝光光线的反射光学系统，该反射镜设备包括：一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜；一个用于散热冷却的散热板，离开所述反射镜的外表面设置，并确保入射到所述反射表面上并从该反射表面反射的所述曝光光线的通道区域；以及一个温度控制机构，用于对所述散热板进行温度控制。