[发明专利]基于改变频率的干涉测量法有效
| 申请号： | 03802580.9 | 申请日： | 2003-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1692268A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | M·J·梅特 | 申请（专利权）人： | 克希瑞克斯公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 杨晓光;李峥 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种干涉测量方法，使用标称为固定的(但未知并改变的)频率和相位角的激光器，例如，由于激光的漂移。以远大于物件相移的频率对干涉图周期性采样。使用相关算法从采样的图形再现波长。使用n桶算法确定相位角。当在全部多倍波长上确定全部复合信息后，使用常规干涉技术计算物件的表面。因此，通常被认为起消极作用的激光器的漂移得到了积极使用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 改变 频率 干涉 测量 | ||
【主权项】：
1.一种干涉测量方法，包括以下步骤：以照明频率照亮物件，产生干涉图；以物件相移的倍数的取样频率取样干涉图，从而在不同的相位角收集干涉图；根据取样的干涉图的变化再现照明频率的波长和相位角；改变照明频率，重复前面的步骤；以及根据收集和再现的复合信息的变化生成物件的图像。
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