[发明专利]在基底上进行电晕致化学气相沉积

摘要

叙述了一种通过电晕放电，在基底上建立等离子体聚合淀积层的方法。在电极和支持在基底上的反电极之间建立电晕放电。平衡气体和工作气体的混合物迅速地流经电极，通过电晕放电进行等离子体聚合，在基底上淀积出光学透明涂层。此方法优选在大气压或接近大气压的压力下实施，此方法可用来形成光学透明的无粉末或实际上无粉末的淀积层，它能够赋予基底以比如表面改性、抗化学性能和气体阻隔性能等性能。

主权项

1.在基底上制备光学透明淀积层的方法，该方法包括如下的步骤：1)在a)具有至少一个入口和至少一个出口的电极和b)支持在基底上的反电极之间的区域建立电晕放电；以及2)由平衡气体和工作气体，必要时还包括工作气体的载气组成的混合物，流过所述电极，并且以充分的流速和使得在基底上形成光学透明淀积层的比例下进行电晕放电。