[发明专利]用于多点探针的电反馈探测系统有效

专利信息
申请号: 03803462.X 申请日: 2003-01-07
公开(公告)号: CN1628251A 公开(公告)日: 2005-06-15
发明(设计)人: 克里斯蒂安·莱特·彼得森;彼得·福尔默·尼耳森 申请(专利权)人: 卡普雷斯股份有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 钟强;谷惠敏
地址: 丹麦*** 国省代码: 丹麦;DK
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摘要: 一种电反馈探测系统,其用于探测多点探针和电传导材料测试样品表面之间的电接触。该电反馈探测系统包括电探测器单元,其连接至多点探针中的电极组,并且可选地直接到测试样品表面。该探测器单元向多点测试设备提供电信号,该设备可被用于确定多点探针是否与测试样品表面有电接触。该探测器单元包括用于产生电信号的电发生器装置,通过多点探针的第一电极组和第二开关阻抗探测元件组驱动该电信号。跨越阻抗探测元件的电势确定了对测试样品表面的电接触。
搜索关键词: 用于 多点 探针 反馈 探测 系统
【主权项】:
1.一种用于探测多点探针对材料测试样品表面的电接触的电反馈探测系统,包括:a.电发生器设备,其连接至多点探针第一电极组;b.第二开关阻抗探测元件组,其连接所述多点探针的所述第一电极组;和c.电探测器装置,其用于探测来自跨越所述第二开关阻抗探测元件组的电信号的测量信号。
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