[发明专利]包括亚微米空心空间的部件有效
| 申请号： | 03803717.3 | 申请日： | 2003-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1781036A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | J·埃林格尔;C·海涅－坎普肯斯;O·齐格尔 | 申请（专利权）人： | 尤纳克西斯巴尔策斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B5/30;C03B37/012;B01L3/00;B01D21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | 一种光学部件或一种分析平台，包括一个衬底、一个在衬底(3)上的微结构阵列和由相邻微结构的侧壁形成的微通道(15，15’)，微通道的宽度作为离衬底的距离的函数而变化，在至少一个距离间隔内，该宽度随离衬底的距离的增大而连续地减小。在一个用于产生这样一种部件或这样一种平台的方法中，一个具有表面微结构阵列的衬底在蒸汽处理中这样涂层，使得涂层机构的遮蔽影响使微结构侧壁上部的至少一部分宽度变窄，由此形成至少部分埋置的微通道。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 微米 空心 空间 部件 | ||
【主权项】：
1.一种光学部件，包括：一个衬底；在该衬底上的一个微结构阵列；以及由相邻微结构的侧壁形成的微通道，该微通道的宽度随离该衬底的距离而变化，在至少一个距离间隔内所述宽度随离衬底的距离的增大而连续地减小。
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