[发明专利]等离子清洗附有机物质的材料表面的方法和实现该方法的装置有效
| 申请号： | 03804156.1 | 申请日： | 2003-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN1997773A | 公开（公告）日： | 2007-07-11 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·西尔伯贝格;埃里克·米歇尔;弗朗索瓦·雷尼耶;克洛丹·比斯－埃尔曼 | 申请（专利权）人： | 于西纳公司 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00;B08B7/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 余全平 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于清洗涂覆有有机物质的材料(4)表面的方法。本发明方法的特征在于它包括以下步骤：将材料(4)导入一个处理室(2)，该处理室内的压力在10毫巴至1巴之间，它被供应一种包含至少90％体积氧的气流；以及通过在材料的表面与一个涂覆有绝缘材料的电极(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g)之间传送放电而产生等离子体，从而通过所生成的自由基O的作用将有机物质分解。本发明还涉及一种用于实现所述方法的装置(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 清洗 有机 物质 材料 表面 方法 实现 装置 | ||
【主权项】：
1.用于清洗涂覆着有机物质的材料表面的方法，其特征在于，它包括以下步骤：将所述材料导入一处理室，在所述处理室内充置一在10毫巴至1巴之间压力，所述处理室被供应一包含至少90％体积氧的气流；以及通过在所述材料的表面与一涂覆有绝缘材料的电极之间进行放电而产生一等离子体，从而在所生成的自由基0°的作用下将所述有机物质分解。
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