[发明专利]抛光组合物有效
| 申请号： | 03804313.0 | 申请日： | 2003-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN1635940A | 公开（公告）日： | 2005-07-06 |
| 发明（设计）人： | 徐浩峰;J·匡希 | 申请（专利权）人： | CMP罗姆和哈斯电子材料控股公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/308 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蔡胜有 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于抛光半导体晶片的抛光组合物，该组合物包含水，优选为胶态二氧化硅的研磨剂，具有至少约1,000,000的分子量的水溶性纤维素和优选为氨的碱性化合物。还可以向该抛光组合物中加入氢氧化四甲铵。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 | ||
【主权项】：
1.用于抛光硅片的抛光组合物，该组合物按重量百分比包含：0.01至1的花生状胶态二氧化硅颗粒，该花生状二氧化硅颗粒具有小于50nm的一次颗粒尺寸；用于为硅片提供亲水表面的水溶性纤维素；用于将pH提高到至少8的氢氧根离子源；和水。
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