[发明专利]基材支撑件

摘要

本发明大致提供一种用以支撑一基材的方法和设备。在一种情况下，一种用以支撑一基材的设备包括一支撑板，具有一第一主体安排成接近该支撑板。一第一推挤件径向地连接至第一主体并用来当第一主体旋转时，在平行于该支撑板的第一方向挤压基材。在另一种情况下，一具有一基材支撑件的真空隔绝室包含有一冷却板，其被移动以作动至少一个对准机构，该基材支撑件支撑放在其上面的基材。对准机构包含一推挤件，该推挤件将基材在第一方向朝该支撑件的中心推挤。推挤件可以另外旋转于垂直于第一方向的轴上。

主权项

1.一种用以支撑一基材的装置，该装置至少包括：一支撑板，具有一第一侧适合用来支撑基材及一第一缘包围住该第一侧的一部分；一第一主体，可旋转地设置于该第一缘近端；及一第一推挤件，径向地连接至该第一主体并适合用来当该第一主体旋转时，将基材推向平行该第一侧的一第一方向。