[发明专利]集成光电器件和波导无效
| 申请号： | 03804470.6 | 申请日： | 2003-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN1639605A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | P·戴维茨;M·雷肖克;B·布罗克 | 申请（专利权）人： | 英特尔公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;H01L31/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种波导包括波导芯，该波导芯具有可限定一个角度的上表面。该波导包括一个通过包层偏离基片的波导芯。一种光电晶体管包括发射极，集电极，以及横向对准的基极。一种光电二极管包括n－和p－型区域，以及横向对准的本征基片部分。一种波导包括波导芯，衰减层，以及检测器层。一种适用于制造器件的方法包括在基片上形成包层，而该基片具有其表面形成的检测器层；在包层中形成开孔，以露出检测器层；在包层和开孔上形成波导层；去除部分波导层，以限定波导芯；以及把第一区域和第二区域注入到最接近于波导芯的检测器层。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 光电 器件 波导 | ||
【主权项】：
1.一种波导，其特征在于，它包括：具有限定一个角度的上表面的波导芯。
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