[发明专利]流体混合装置及切削装置有效
申请号: | 03804624.5 | 申请日: | 2003-02-06 |
公开(公告)号: | CN1638920A | 公开(公告)日: | 2005-07-13 |
发明(设计)人: | 吉田干 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B24B55/02 | 分类号: | B24B55/02;B01F3/04;H01L21/304 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在使用加工水的加工中,通过提供以下流体混合装置30,可以用经济的方法将加工水的比电阻值高精度地设置在所要求的值,该流体混合装置30包括第一流体供给路34、第二流体供给路43以及混合部41,第一流体供给路34供给第一流体,第二流体路供给43第二流体,混合部41生成混合第一流体和第二流体的混合流体,该第一流体供给路34通过流量比调整部36分支成第一经路37和第二经路38,该第二经路38在分支部39分支出流量比率被事先设定的第三经路40,该第三经路40与混合部41连接,在该混合部41上连接有第二流体供给路43和第四经路44,在该混合部41上,将从该第三经路40流入的第一流体与从该第二流体供给路43流入的第二流体混合、将生成的混合流体向该第四经路44流出,该第四经路44在第二经路38上的该分支部39的下游侧合流,第二经路38与该第一经路37合流。 | ||
搜索关键词: | 流体 混合 装置 切削 | ||
【主权项】:
1.一种流体混合装置,是将第一流体与第二流体混合的流体混合装置,其特征在于,包括第一流体供给路、第二流体供给路以及混合部,该第一流体供给路供给第一流体,该第二流体路供给第二流体,该混合部使第一流体和第二流体混合而生成混合流体,该第一流体供给路通过流量比调整部分支成第一经路和第二经路,该第二经路在分支部分支出流量比率被事先设定的第三经路,该第三经路与该混合部连接,在该混合部上连接有第二流体供给路和第四经路,在该混合部上,使从该第三经路流入的第一流体与从该第二流体供给路流入的第二流体混合、使生成的混合流体向该第四经路流出,该第四经路与在该分支部下游侧的第二经路或第一经路合流,该第二经路与该第一经路合流。
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