[发明专利]动压轴承的制造方法、动压轴承及动压轴承制造装置

摘要

本发明涉及一种在轴承的内面形成动压发生槽的动压轴承的制造方法、利用该制造方法制造的动压轴承及动压轴承制造装置。其中，掩模(1)是圆筒状形状，在外周面形成人字槽图形，在凸缘部下面形成螺旋槽图形。把掩模(1)插入动压轴承(2)中，并且在掩模(1)的内部插入光纤(4)。把外部光源的光通过光纤(4)照射在掩模(1)上，把人字槽图形转印在动压轴承(2)的内周面上。同时，从凸缘部上侧照射光，把螺旋槽图形转印在动压轴承(2)的上侧面上。在进行显影后，通过蚀刻在轴承(2)的内周面形成人字槽(21)，在上侧面形成螺旋槽(22)。

主权项

1.一种动压轴承的制造方法，在轴承的内面形成动压发生槽，包括如下步骤：在轴承的内面形成抗蚀剂的步骤；使用形成有动压发生槽图形的掩模进行曝光，把所述掩模的动压发生槽图形转印在所述抗蚀剂上的步骤；将所述抗蚀剂显影的步骤；在显影后，通过蚀刻在所述轴承的内面形成动压发生槽的步骤。