[发明专利]用于显微平版印刷的氟化共聚物无效
| 申请号： | 03805007.2 | 申请日： | 2003-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1639640A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | A·E·费林;F·L·查特三世;G·N·泰勒 | 申请（专利权）人： | E·I·内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;C08F214/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 周承泽 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 说明了光致抗蚀剂组合物和有关显微平版印刷方法中所用的氟化共聚物。这些共聚物包含同时为这些材料提供高紫外(UV)透明度和碱性介质中可显影性的含氟醇或者含氟醇的保护官能团，以及来自包含含氟烷基或羟基取代烷基的丙烯酸酯单体的重复单元。本发明材料的UV透明度高，尤其是在193和157nm下，使它们可以用于在这些短波长下进行平版印刷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 显微 平版印刷 氟化 共聚物 | ||
【主权项】：
1.一种含氟共聚物，所述共聚物包含：a.来自烯键式不饱和化合物的第一重复单元，它包含具有如下所示结构的官能团： -Xr(CH2)qC(Rf)(Rf′)ORa 式中，Rf和Rf′相同或不同，为1-10个碳原子的氟代烷基，或者连接在一起为(CF2)n；n是2-10的整数；X选自S、O、N和P；q＝0，r＝0，或者q＝1，r＝0或1；Ra是H或对酸或碱不稳定的保护基；b.来自CH2＝CRCO2CH2R″的第二重复单元，式中，R″是1-4个碳原子的氟代烷基，或1-4个碳原子的羟烷基；R是H、F、1-5个碳原子的烷基，或者1-5个碳原子的氟代烷基。
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