[发明专利]圆盘状基板用溅射装置、该装置中的基板卡夹方法,及用该装置的圆盘状记录介质的制造方法无效
| 申请号： | 03805531.7 | 申请日： | 2003-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN1639785A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 越川政人;江本淳;松井敏 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射装置中的基板卡夹方法，用于在牢固地使没有中心孔的圆盘状基板与保持件紧贴而保持基板。具体地，所使用的该圆盘状基板在其背面侧具有一基本圆柱形的突起部，并且在该溅射装置中，该突起部插入一设置在基板支承部上的具有一圆筒形内表面的凹陷部中。通过一设置在该凹陷部中的固定结构将该突起部固定，该基板的背面在与一形成在该凹陷部周围用作基板支承部的平坦表面保持紧贴的同时而被支承。 | ||
| 搜索关键词： | 圆盘 状基板用 溅射 装置 中的 板卡 方法 记录 介质 制造 | ||
【主权项】：
1.一种用于在真空容器中在基板表面上形成膜的溅射装置，所使用的基板为在其背面中央具有突起部的圆盘状基板，该溅射装置包括：由待与所述基板的背面紧贴的平坦面构成的基板支承部，和形成在所述基板支承部中央部位用于接收所述突起部的凹陷部，其中，在所述凹陷部中配置有用于牢固地保持所述突起部的固定结构。
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