[发明专利]应力测定方法及应力测定装置有效
| 申请号： | 03805887.1 | 申请日： | 2003-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN1643357A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 居塞佩·佩曹蒂 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场制作所 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01N21/62 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压力测定方法包含：对试样施加外力的外力施加工序，对试样照射电子束的照射工序，对通过上述照射工序使试样产生的光进行分光得到光谱的分光工序，以及根据通过对上述试样照射电子束得到的试样光谱与对通过上述外力施加工序在应力存在状态下的试样照射电子束得到的应力施加光谱的光谱偏差确定应力的应力计算工序。 | ||
| 搜索关键词： | 应力 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种应力测定方法，其特征在于，包含：将电子束照射于试样的电子束照射工序，分析通过所述电子束照射工序使试样发出的光、得到光谱的分光工序，以及根据从规定状态的试样得到的光谱与从不同于该规定状态的状态下的试样得到的光谱的光谱偏差、求出该试样中产生的应力变化的应力计算工序。
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