[发明专利]联合微机械和光学器件阵列无效
申请号: | 03806074.4 | 申请日: | 2003-03-19 |
公开(公告)号: | CN1643430A | 公开(公告)日: | 2005-07-20 |
发明(设计)人: | 约翰·特雷泽 | 申请(专利权)人: | 美莎诺普有限公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 | 代理人: | 傅强国 |
地址: | 美国新罕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一个单元(600)由电子集成电路(604)、MEMS装置(608)以及有源光学装置(602)组成,该有源光学装置与电子集成电路电耦合并位于电子集成电路和MEMS之间。将MEMS装置电耦合到电子集成电路并定位,根据在电子集成电路控制下的MEMS装置中的元件相对于有源光学器件的位置影响光的状态。 | ||
搜索关键词: | 联合 微机 光学 器件 阵列 | ||
【主权项】:
1.一种单元,其特征在于,包括:电子集成电路;MEMS装置;以及有源光学器件,该有源光学器件电耦合到电子集成电路并位于电子集成电路和MEMS装置之间;将MEMS装置电耦合到电子集成电路并相对于有源光学器件定位,根据在电子集成电路控制下的MEMS装置中的元件的位置影响光的状态。
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