[发明专利]被处理体的收存容器体有效
申请号: | 03806220.8 | 申请日: | 2003-05-26 |
公开(公告)号: | CN1643676A | 公开(公告)日: | 2005-07-20 |
发明(设计)人: | 小山胜彦 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;B65G49/00;B65G49/07;B65D85/86 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳;邸万杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种被处理体的收存容器体,其包括:可以收存能保持多枚第一被处理体的开放型盒、并且具有能收存多枚与上述第一被处理体相比大口径的第二被处理体的大小的箱式容器;设置在上述箱式容器的内侧壁、多级地支持上述多枚第二被处理体的支持部;可装卸地设置在上述箱式容器开口部的开闭盖;和,可装卸地设置在上述箱式容器底部的定位卡合部。上述开闭盖可密闭上述箱式容器。上述定位卡合部与设置在上述盒的底部下面的定位部件卡合,可进行该盒的定位。 | ||
搜索关键词: | 处理 收存 容器 | ||
【主权项】:
1.一种被处理体的收存容器体,其特征在于:包括:可以收存能保持多枚第一被处理体的开放型盒、并且具有能收存多枚与所述第一被处理体相比大口径的第二被处理体的大小的箱式容器;设置在所述箱式容器的内侧壁、多级地支持所述多枚第二被处理体的支持部;可装卸地设置在所述箱式容器开口部的开闭盖;和可装卸地设置在所述箱式容器底部的定位卡合部;所述开闭盖可密闭所述箱式容器,所述定位卡合部与设置在所述盒的底部下面的定位部件卡合,可进行该盒的定位。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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