[发明专利]质量流控制器无效
| 申请号： | 03806930.X | 申请日： | 2003-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1643466A | 公开（公告）日： | 2005-07-20 |
| 发明（设计）人： | 西川正巳;山口正男 | 申请（专利权）人： | STEC株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使在质量流控制器的上游侧及下游侧任一方产生压力变动，也能经常稳定流过目标流量的质量流控制器。本发明是具有流量控制阀和流量传感器的质量流控制器，其具有：配置在流量控制阀上游侧的压力控制阀；配置在该压力控制阀和流量控制阀之间的压力传感器；通过反馈该压力传感器的输出来控制压力控制阀的控制部。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 控制器 | ||
【主权项】：
1.一种具有流量控制阀和流量传感器的质量流控制器，其特征在于，具有：配置在流量控制阀上游侧的压力控制阀；配置在该压力控制阀和流量控制阀之间的压力传感器；通过反馈该压力传感器的输出来控制压力控制阀的控制部。
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