[发明专利]掩模板及其制造方法无效
| 申请号： | 03807514.8 | 申请日： | 2003-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1646884A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 托布乔恩·桑兹特罗姆 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克激光系统公司 |
| 主分类号： | G01F1/08 | 分类号： | G01F1/08 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的一个方面包括了一种制造掩模板的方法：提供一基板；在所述基板上形成一掩模层；在所述基板上形成至少一个材料层从而使得一写波长(writing wavelength)对于对该写波长感光的薄膜的反射率低于4％。本发明的其他方面在详细说明，附图以及权利要求中得以反映。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造掩模板的方法，包括：提供一基板；在所述基板上形成一掩模层；在所述基板上形成至少一个材料层从而使得一写波长对于对该写波长感光的薄膜的反射率低于4％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于麦克罗尼克激光系统公司，未经麦克罗尼克激光系统公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03807514.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
