[发明专利]互连结构及方法无效
| 申请号： | 03807671.3 | 申请日： | 2003-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN1647273A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | P·弗里克;A·科尔;A·L·范布罗克林;D·安德森 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L27/10;H01L27/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明;梁永 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于集成电路的互连结构(10)具有第一单元(30)的阵列(20)、至少一个平行于第一阵列的第二单元(50)的阵列(40)、以及设置用于连接第一阵列单元与第二阵列单元的互连(60)，至少一些互连沿着关于第一和第二阵列倾斜取向的轴(90)设置。互连的第一和第二组倾斜轴可以彼此平行或相反。互连可以包括沿着倾斜轴(90)设置的倾斜柱(400)或阶梯式柱(410)。公开了用于制造和使用这种结构的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 结构 方法 | ||
【主权项】：
1、一种互连结构，包括：a)设置在第一平面中的第一组布线装置；b)设置在大体平行于所述第一平面的第二平面中的第二组布线装置；和c)用于将所选择的所述第一组布线装置与所选择的所述第二组布线装置电耦合的装置，用于电耦合的所述装置沿至少一个关于所述第一和第二平面倾斜取向的轴设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠普开发有限公司，未经惠普开发有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03807671.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：条件性访问的系统和设备
- 下一篇：电路基板及电路基板的制造方法
