[发明专利]使一个板状基片定位的装置和方法无效
| 申请号： | 03808274.8 | 申请日： | 2003-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1647245A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | D·埃辛格;M·措勒 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出了使一种基片(101)在一个具有运输带(302)的运输段(100)上定位的一种装置和方法。按照本发明如下来确定运输的基片的位置：在运输方向(102)上看的基片(101)的最前边借助于一个光栅来检测。光栅的检测范围(105)伸展到运输带(302)上的基片(101)的支承高度(701)之下。因此当基片前边例如由于弯曲而位于支承高度(70)以下时，也对它进行检测。运输带(302)在一个环里围绕光栅的检测范围(105)绕行，因而光栅的检测范围(105)可以横向越过整个运输段(100)布置。按照一种改进的方案还应用一个传感元件(106)，它相对于光栅逆流向上地设在运输段(100)上并且借助于这传感元件同样也可以检测所要定位的基片(10)的前边。按这种方式就可以使这沿着运输段(100)而运动的基片(101)实现一种特别柔和的制动。 | ||
| 搜索关键词： | 一个 板状基片 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.用于沿着一个具有至少一个运输带(302)的运输段(100)对一个板状基片进行定位的装置，它具有·一个光栅，其布置应使其检测范围(105)平行于基片(101)的支承平面并垂直于基片(101)的运输方向(102)，而且可以检测指向运输方向(102)上的基片(101)的端面的位置，其中光栅的检测范围(105)一直伸展到基片(101)的支承高度(701)之下，以及·至少一个偏转装置，借助于此装置使运输带(302)在一个至少局部设计在支承高度(701)以下的环围绕光栅的检测范围(105)而绕行。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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