[发明专利]成像方法

摘要

通过多个子照射在射线敏感层(5)中形成光学图像，在每个子照射中，将光阀阵列(21－25)和对应的会聚单元阵列(91－95)用于根据子图像图案在抗蚀剂层上形成斑点图案(111－115)。在子照射之间，该抗蚀剂层相对于该阵列移动。通过将折射透镜(43)用作会聚单元获得了明亮并且良好限定的斑点。该射线敏感层可以是在基底上的抗蚀剂层，其中利用打印机中使用的光刻方法或者静电层构成了该器件。

主权项

1.一种在射线敏感层上形成光学图像的方法，该方法包括以下步骤：-提供射线源；-提供射线敏感层；-将独立受控光阀的二维阵列放置在射线源和射线敏感层之间；-将射线会聚单元的二维阵列放置在光阀阵列和射线敏感层之间，使得每个会聚单元对应于一个不同的光阀并用于将来自对应光阀的射线会聚到射线敏感层的斑点区域中；-通过一方面对所述层区域、另一方面对相关的光阀/会聚单元对彼此相对地进行扫描，并且依据要由光阀写入的图像部分在开和关状态之间对每个光阀进行切换，在射线敏感层区域内同时写入图像部分；-其特征在于利用了折射透镜形式的会聚单元，并且在于使用了两个阵列来形成斑点矩阵阵列，所述矩阵的间距基本上大于斑点尺寸。