[发明专利]光学的位置测量装置

摘要

本发明涉及一种具有一个扫描单元(2)的光学的位置测量装置，该扫描单元包含有一个光源(4)、一个投影平面(9)和一个用于在该投影平面(9)里产生一个周期性的光栅结构(10)的投影的透镜光学机构(8)。按照发明该透镜光学机构(8)由一个具有栅格周期或者相邻透镜(81、82)相互间距的周期性透镜组列(80)组成，其中A_G (r)代表透镜组列的栅格周期；t(r)代表周期性光栅结构(10)的周期；|β(r)|代表了透镜组列(80)的投影比例β的绝对值；Ψ代表了一个可预先规定的相移；r代表了光栅组件的半径，其中对于线性光栅r＝∞，而且A_G，t和β为恒定；i，k和n代表了自然数，包括零。

主权项

1.具有一个扫描单元(2)的光学的位置测量装置，该扫描单元包含有一个光源(4)、一个投影平面(9)和一个用于在投影平面(9)里产生一个周期性的光栅结构(10)的投影的透镜光学机构(8)，其特征在于，透镜光学机构(8)由具有如此栅格周期的或者说相邻透镜(81、82)的相互距离的一种周期性透镜组列(80)组成：$A_G\left(r\right)=\frac{\left|\beta \left(r\right)\right|*[t\left(r\right)*[k+i+n]+\psi ]}{\left(\right|\beta \left(r\right)|+1)}$ 其中AG(r)为透镜组列的栅格周期，t(r)为周期性的光栅结构(10)的周期，|β(r)|为透镜组列(80)的投影比例β的绝对值，ψ为一个可预先规定的限定的相移，r为光栅系统的半径，其中对于线性的光栅r＝∞，而AG，t和β是恒定的，i，k，n∈N，也就是说自然数，包括零。