[发明专利]含甲醇的二氧化硅基CMP组合物无效
| 申请号： | 03808936.X | 申请日： | 2003-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1646651A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·瓦卡西 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 范明娥;巫肖南 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种抛光组合物，包含：(a)二氧化硅磨料，(b)甲醇，和(c)液态载体，其中抛光组合物的pH值为约1－6，抛光组合物是胶态稳定。本发明还提供了利用抛光组合物抛光含硅基介电层的基片的方法。本发明进一步提供一种使磨料与甲醇接触而稳定化抛光组合物中的二氧化硅磨料的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 甲醇 二氧化硅 cmp 组合 | ||
【主权项】：
1.一种抛光组合物，包含：(a)二氧化硅磨料，(b)甲醇，和(c)液态载体，其中抛光组合物的pH值为约1-6，二氧化硅磨料与甲醇之间的相互作用使抛光组合物呈胶态稳定性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡伯特微电子公司，未经卡伯特微电子公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03808936.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：使用预编程的语音特征的语音转换器
- 下一篇：软件分发方法与系统
