[发明专利]安装方法和安装装置

摘要

本发明提供的安装方法和安装装置是在使被接合物彼此位置对准之后，使位于周围的可动壁移动到与一方的被接合物保持机构相接触，在形成具有局部密闭空间的本机腔室的同时、将两个被接合物密闭在该腔室内、在对该腔室内进行减压的工序之后，使被接合物保持机构沿着使腔室容积缩小的方向移动、而且与其随动地使可动壁移动，将两个被接合物压接而接合。由于能形成从周围将接合部及其周边局部、高效地密闭、而且在接合时还能保持其密闭状态地与接合动作联动地使密闭空间的形状适当改变的本机腔室，因而能够以小型的装置容易地进行所要求的安装。

主权项

1.一种安装方法，其特征在于，在对两个具有间隔地相对的被接合物进行相对位置对准之后，使位于两个被接合物周围的可动壁移动到与一方的被接合物保持机构相接触，以形成具有局部密闭空间的本机腔室结构，而且将两个被接合物密闭在该本机腔室内，在经过对该本机腔室内进行减压而形成规定的真空状态的工序之后，使上述被接合物保持机构沿着使该本机腔室的容积缩小的方向移动，同时使上述可动壁随之移动，将两个被接合物压接而进行接合。