[发明专利]基于衍射光学元件的温度补偿光学系统

摘要

一种用于基于物体和射到该物体的光之间的准弹性相互作用来确定该物体的条件或状态的装置，它包括衍射光学元件，所述衍射光学元件具有一个衍射区域，所述衍射区域包括第一衍射结构和第二衍射结构，上述第一衍射结构用于衍射第一光束并把该第一光束聚焦到物体上，上述第二衍射结构在侧向上相对于第一衍射结构设置，用于衍射第二光束并把该第二光束聚焦到物体上。第一和第一衍射结构把第一和第二光束聚焦在同一聚焦平面中，聚焦平行基本上垂直于第一和第二光束的传播方向。衍射区域还包括一个接收衍射的结构，所述接收衍射的结构用于衍射已与物体相互作用的光束中的光。经过衍射的光以一个衍射角衍射。衍射角的大小基本上等于入射光的入射角。

主权项

1.一种用于基于物体和射到该物体的光之间的准弹性相互作用来确定该物体的状况或状态的装置，该装置包括：衍射光学元件，适合于用入射光束照射，该衍射光学元件包括用于限定衍射平面的衍射区域，入射光束与该衍射平面的法线形成入射角，该衍射区域包括：-第一衍射结构，用于衍射并聚焦第一光束到所述物体，和-第二衍射结构，相对于所述第一衍射结构侧向设置，用于衍射并聚焦第二光束到所述物体，该第一和第二光束在与所述衍射平面的法线成第一衍射角下进行衍射，所述第一和第二衍射结构将所述第一和第二光束聚焦在所述同一聚焦平面中，该聚焦平面基本上垂直于所述第一和第二光束的传播方向，所述衍射区域还包括：-接收衍射结构，用于衍射已与所述物体相互作用的所述光束中的光，该经过衍射的光在与所述衍射平面的法线成第二衍射角下进行衍射，其中所述入射光束的入射角与所述第二衍射角的大小基本上相等。