[发明专利]适合于工具对工具匹配的计量衍射信号

摘要

在一种实施方式中，确定次级计量工具相对于初级计量工具的信号调节矢量(步骤560)。在(步骤500)，用初级计量工具测量晶片上预定数目的位置外的衍射信号。计量工具可以是偏振光椭圆计、反射计。初级计量工具是一种具有硬件规格说明的计量工具，该硬件规格说明被用来生成衍射信号及其相关简表的数据库的计量数据。在(步骤520)，用一个或多个次级计量工具测量该相同预定数目的位置，次级计量工具具有与初级计量工具相同的类型或相同的种类。在(步骤540)，对于相应的位置，计算用初级计量工具和用次级计量工具测量到的衍射信号的差。

主权项

1.一种集成电路计量中使用的方法，用来使计量系统适于与各种计量器件适配而工作，所述方法包括：利用第一计量器件测量晶片上的一组位置，该测量产生第一组衍射信号，所述第一计量器件具有识别规格说明；利用第二计量器件测量所述晶片上的所述一组位置，该测量产生第二组衍射信号，所述第二计量器件具有识别规格说明；计算第一组衍射信号的各信号与第二组衍射信号的相应信号之间的差；以及确定信号调节矢量，该信号调节矢量配置成使对所述第一计量器件所生成的计量数据能够用在所述第二计量器件中。