[发明专利]转移流动处理过程和装置

摘要

提供一种用来处理物体的方法。在这种方法中，在有利于至少部分地包围物体以在浴具液体的旋转流中进行处理的情况下，把处理化学物质加入到浴具中，接着，在有利于至少部分地包围物体以在浴具液体的旋转流中进行处理的情况下，把非处理液体加入到浴具中。还提供了一种用来实现该方法的装置。该方法特别有利于一些物体如半导体晶片或者类似基体，其中这些物体用在借助用溶液来处理的精确制造中。

主权项

1.一种处理具有要处理的表面的物体的方法，该方法包括：按顺序a)把物体提供到非处理液体的浴具中；b)在至少部分地包围物体以在浴具液体的旋转流中进行处理有效的情况下，把处理化学物质加入到浴具中，c)在至少部分地包围物体以在浴具液体的旋转流中进行处理有效的情况下，把非处理液体加入到浴具中。