[发明专利]用于控制蒸汽喷射真空泵中的功率的方法和装置无效
| 申请号： | 03809757.5 | 申请日： | 2003-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1650107A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | 玛尔斯贝德·哈布兰尼安 | 申请（专利权）人： | 瓦里安有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/08 | 分类号： | F04F9/08 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了用于控制提供给蒸汽喷射真空泵的功率的方法和装置。蒸汽喷射真空抽吸系统包括蒸汽喷射泵和功率控制器，所述蒸汽喷射泵具有入口端口、排气端口、射流组件和蒸发器(12)，所述蒸发器含有加热器(50)，所述功率控制器用于响应于至少一个控制参数，自动地控制提供给加热器的功率。可以响应于编程序列、处理室中的感应的压力、来自工艺控制系统的控制信号或者这些控制参数的组合，来控制功率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 蒸汽 喷射 真空泵 中的 功率 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸汽喷射真空抽吸系统，包括：具有输入端口、排气端口、射流组件和蒸发器的蒸汽喷射泵，所述蒸发器含有加热器；和功率控制器，用于响应于至少一个控制参数，自动地控制提供给所述加热器的功率。
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