[发明专利]气体预热器有效
申请号: | 03810190.4 | 申请日: | 2003-05-05 |
公开(公告)号: | CN1650042A | 公开(公告)日: | 2005-08-03 |
发明(设计)人: | E·赛恩;Y·博德里 | 申请(专利权)人: | 马塞尔-布加蒂股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 程伟 |
地址: | 法国韦利济*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 一种用于CVI加热炉的气体预加热器,该CVI加热炉设计用于环形多孔基底(32)的致密化处理,该环形多孔基底(32)以许多垂直环形基底堆垛进行排列,该气体预加热器包括:由导热材料制成的一个套筒(52),它位于基座(12,14)的底壁(14)上,并限定了气体预加热腔,具有位于气体预加热腔中气体入口(56);位于气体预加热腔中的热交换装置(50);在套筒上的气体分配板(60),该板覆盖气体预加热腔并有许多用来预加热气体的通道(60a,60b);一个负载支撑板,用于支撑环形基底堆垛,并有许多通道连接气体分配板的相应通道,并与不同环形基底堆垛的内部体积相对齐;和喷嘴(62),插在连接气体预加热区和不同的环形基底堆垛的内部体积的通道内,用于调节分别应用在所述内部体积中的预加热的气流。 | ||
搜索关键词: | 气体 预热器 | ||
【主权项】:
1.在CVI加热炉中,该加热炉用于致密化处理环形多孔基底,该环形多孔基底以许多垂直环形基底堆垛的形式排列,包括具有内侧壁和底壁的基座,其内侧壁限定了在加热炉内的气体预加热区域和反应腔,和至少一个通过基座的底壁而打开的气体入口,一个气体预加热器,它包括:—一个由导热材料制成的套筒,它放置在基座底壁上并限定一个气体预加热腔,具有位于气体预加热腔中的至少一个气体入口,—位于气体预加热腔内的一个热交换装置,—放置在套筒上的一个气体分配板,它覆盖气体预加热腔并有许多用于预加热气体的通道,—一个负载支撑板,用于支撑将要放置在反应腔内用于致密化处理的环形基底堆垛,它有许多通道,连接气体分配板的相应通道,并且与相应环形基底堆垛的内部体积相对齐,和—插入在通道内的喷嘴,该通道连接气体预加热区域与不同环形基底堆垛的内部体积,用于调节分别引入到所述内部体积内的预加热的气流。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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