[发明专利]等离子体催化剂无效

专利信息
申请号: 03810275.7 申请日: 2003-05-07
公开(公告)号: CN1653868A 公开(公告)日: 2005-08-10
发明(设计)人: S·库马尔;D·库马尔 申请(专利权)人: 达纳公司
主分类号: H05H1/46 分类号: H05H1/46;H01J37/32
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 杨晓光;李峥
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明为各种等离子体加工和处理提供了用于等离子体激发、调节和维持等离子体的方法和装置。在一个实施例中,在惰性或活性等离子体存在的情况下,通过使多模处理腔中的气体受到频率介于大约1MHz和大约333GHz的电磁辐射来激发等离子体。例如,惰性等离子体催化剂可以包括能够使局部电场变形而诱发等离子体的任何物体。活性等离子体催化剂可以包括在电磁辐射存在的情况下能够向气态原子或分子输送大量能量以从气态原子或分子激发出至少一个电子的任何粒子或高能波包。
搜索关键词: 等离子体 催化剂
【主权项】:
1.一种形成等离子体的方法,包括:使气体流入多模处理腔中;以及在至少一种惰性等离子体催化剂存在的情况下,通过使所述腔中的气体受到频率低于大约333GHz的电磁辐射来激发等离子体,所述惰性等离子体催化剂包括至少是半导电的材料。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于达纳公司,未经达纳公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/03810275.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top