[发明专利]具有晶体透镜的物镜无效
| 申请号： | 03810840.2 | 申请日： | 2003-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1653359A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | A·格纳迈尔;A·帕茨迪斯;B·梅金;C·扎策克;D·克雷默 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G02B1/02 | 分类号： | G02B1/02;G02B5/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种物镜、尤其是用于微印刷投影曝光设备的投影物镜具有至少一个由氟化物晶体制成的透镜。如果这个透镜是一个具有一个透镜轴线的(100)－透镜，该轴线大约垂直于{100}－晶体面或与其等效的氟化物晶体的晶体面，则可以减小双折射的干扰影响。如果氟化物晶体透镜相对旋转地设置，对于具有至少两个氟化物晶体透镜的物镜是有利的。在此所述氟化物晶体透镜的透镜轴线除了指向<100>－晶体方向以外也可以指向<111>－或<110>－晶体方向。通过同时使用具有相对旋转的(100)－透镜的透镜组和具有相对旋转的(111)－透镜或(110)－透镜的透镜组可以进一步减小双折射的干扰影响。通过配置一个具有补偿涂层的光学元件可以进一步减小双折射的干扰影响。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 晶体 透镜 物镜 | ||
【主权项】：
1.一种物镜(611，711)，尤其是用于微印刷投影曝光设备(81)的投影物镜，具有多个透镜(L601-L630，L801-L817)，具有至少一个由氟化物晶体制成的透镜(1)，其特征在于，所述至少一个透镜(1)是一个具有一个透镜轴线(EA)的(100)-透镜，它大致垂直于{100}-晶体面或与其等效的氟化物晶体的晶体面。
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