[发明专利]采用内外并行沉积制造光纤料坯的方法

摘要

采用在原料管内外表面同时等离子沉积方法制造光纤料坯的方法和设备。转动原料管状件(12)，向等离子火炬(16)中选择地注入CFOT化学品(22)并向管(12)空腔内选择地注入CFIT化学品(24)。等离子火炬沿着管状件横向移动从而同时地在内外表面沉积烟炱。在沉积期间内外表面之一或二者上的烟炱可被固结成二氧化硅层。等离子火炬(16)再次横向移动以在内外表面之一或二者上沉积附加烟炱和/或固结以前沉积的烟炱。过程一直重复到在管状件上形成预定数量二氧化硅。随后，将管状件熔塌。任选地，在熔塌期间或以后实施附加等离子沉积。

主权项

1.一种制造光纤料坯的方法，包括下列步骤：(a)提供一种管状件，具有中心轴线、圆柱体空腔、包围空腔的内表面，和外表面，该内表面和外表面围绕中心轴线彼此同轴；(b)同时地，在外表面沉积外二氧化硅烟炱层并将该外二氧化硅烟炱层固结成玻璃质二氧化硅层，和在内表面沉积内烟炱层并将内烟炱层固结成玻璃质二氧化硅层；(c)在外圆柱体表面沉积第二外二氧化硅烟炱层；(d)同时地在外表面沉积外二氧化硅烟炱层并将外二氧化硅烟炱层和所述第二外烟炱层固结成玻璃质二氧化硅层，和在内表面沉积内烟炱层并将该内烟炱层固结成玻璃质二氧化硅层；以及(e)重复步骤(c)和(d)直至形成预定厚度所述玻璃质二氧化硅层。