[发明专利]用于制造纳米粉末的感应耦合等离子反应器无效
| 申请号： | 03811290.6 | 申请日： | 2003-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1652996A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 金永南 | 申请（专利权）人： | 株式会社NPC |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;吴德明 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造纳米粉的高频感应等离子反应器，其设计能使用固相粉末作为起始原料，连续地批量生产纳米粉，并且通过将原料粉末彻底蒸发，能制造高纯度纳米粉。高频感应等离子反应器包括上体和盖。上体具有反应管，反应管内部形成垂直延伸的反应室，上体还具有环绕在反应管外围的高频线圈，以及位于反应管内部的陶瓷内壁。陶瓷内壁具有多个气体通过孔，并与反应管的内侧壁之间形成气体流动通道，使氩气从外部流入反应室。盖装在反应室的上端，适于密封反应室。盖具有与反应室相通的粉末喷射管。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 纳米 粉末 感应 耦合 等离子 反应器 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造纳米粉的等离子反应器，包括：上体，该上体具有：反应管，反应管内部形成垂直延伸的反应室；环绕在反应管外围的高频线圈；以及位于反应管内部的陶瓷内壁，陶瓷内壁具有多个气体通过孔，并与反应管之间形成气体流动通道，使氩气从外部流入反应室；以及盖，盖装在反应室的上端，并适于密封反应室，盖具有与反应室相通的粉末喷射管。
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