[发明专利]批量制造光滤波器元件的方法和元件晶圆无效
| 申请号： | 03811295.7 | 申请日： | 2003-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1653367A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 让－皮埃尔·穆瓦;格扎维埃·于贡 | 申请（专利权）人： | ATMEL格勒诺布尔公司 |
| 主分类号： | G02B6/34 | 分类号： | G02B6/34 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 法国圣*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及可调的波长选择光滤波器，该光滤波器允许其中心在一个可调的波长附近的窄光谱带通过，并阻止处于该光谱带外的波长。更具体地，本发明涉及一种批量制作光滤波元件(1)的方法，包括在一个透光衬底(2)上制作多个光滤波元件(1)。本发明还包括用透光的整体覆盖层(8)覆盖该多个元件，对每个元件进行光学测试，并彼此分离该多个元件。本发明还涉及到一个元件晶圆，包括一个在其上制作多个光滤波元件(1)的透光衬底(2)，一个整体覆盖所述元件(1)的透光覆盖层(8)。该晶圆还包括用于独立测试每个元件(1)的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 批量 制造 滤波器 元件 方法 | ||
【主权项】：
1、一种批量制造光滤波元件(1)的方法，包括：在透光衬底(2)上制作多个光滤波元件(1)，其特征在于，还包括用透光的整体覆盖层(8)覆盖所述多个元件，对每个元件(1)独立地进行光学测试，和将所述多个元件(1)相互分离。
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