[发明专利]使用超短脉冲激光束的激光加工方法无效
申请号: | 03811683.9 | 申请日: | 2003-05-15 |
公开(公告)号: | CN1655937A | 公开(公告)日: | 2005-08-17 |
发明(设计)人: | 丰福洋介;水山洋右 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | B41J2/16 | 分类号: | B41J2/16;B23K26/38;B23K26/06 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种激光加工装置(10)包括用来输出脉冲宽度为0.1ps到100ps的激光束的超短脉冲激光器(11),和用来调整激光束能量的衰减器(13)。通过使用加工能量为300mJ/cm2或更大的超短脉冲激光束,在由金属制成的喷嘴板中形成微小的喷嘴。根据本发明的一个方面,气体被吹到工件上,该工件可以包括氧化铝和/或氧化镁。 | ||
搜索关键词: | 使用 超短 脉冲 激光束 激光 加工 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工方法,包括利用超短脉冲激光束来加工由金属制成的工件的步骤,其中施加在工件加工表面上的能量为300mJ/cm2 或更大。
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