[发明专利]带有适合射频应用的导体结构的元件的制造方法有效
申请号: | 03811798.3 | 申请日: | 2003-05-23 |
公开(公告)号: | CN1685507A | 公开(公告)日: | 2005-10-19 |
发明(设计)人: | 于尔根·莱布;迪特里希·蒙德 | 申请(专利权)人: | 肖特股份公司 |
主分类号: | H01L23/66 | 分类号: | H01L23/66 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李勇 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种用于制造基片(1)的方法,所述基片包括适合于射频应用的导体配置(4,41,42),所述基片具有改善的射频特性。该制造方法包括如下步骤:将在触点连接区(71-74)上方具有至少一个开口(8)的结构化玻璃层(9,91,92,93,13)沉积到基片(1)上;以及将至少一个导体结构(100,111,112,113)敷设到玻璃层(9,91-93)上,所述导体结构与触点连接区(71-74)电接触。 | ||
搜索关键词: | 带有 适合 射频 应用 导体 结构 元件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种用于制造元件(10)的方法,所述元件具有适用于射频应用的导体结构(4,41,42),包括如下步骤:-通过蒸镀将结构化的玻璃层(9,91,92,93,13)沉积到基片(1)上,其中所述玻璃层在触点连接区(71-74)上方具有至少一个开口(8);以及-将至少一个导体结构(100,111,112,113)敷设到玻璃层(9,91,92,93)上,所述导体结构与触点连接区(71-74)电接触。
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